MEMS Carbon Nanotubes Field Emission Pressure Sensor With Simplified Design: Performance and Field Emission Properties Study

• Název česky: MEMS senzor na bázi autoemise uhlíkových nanotrubek se zjednodušeným designem: studie autoemise a chování senzoru
• Autoři: PEKÁREK Jan; VRBA Radomír; PRÁŠEK Jan; JAŠEK Ondřej; MAJZLIKOVA Petra; PEKÁRKOVÁ Jana; ZAJÍČKOVÁ Lenka
• Rok publikování: 2015
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: IEEE Sensors Journal
• Fakulta / Pracoviště MU: Středoevropský technologický institut
• www: IEEE Web
• Doi: http://dx.doi.org/10.1109/JSEN.2014.2363213
• Obor: Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
• Klíčová slova: Carbon nanotubes; field emitter arrays; microelectromechanical systems; microwave torch

Přiložené soubory

• MEMS_Carbon_Nanotubes_Field_Emission_Pressure_Sensor_With_Simplified_Design_Performance_and_Field_Emission_Properties_Study.pdf
• ZVV_2015_1219886_MEMS_Carbon_Nanotubes.pdf

• Popis: Aplikace senzorů tlaků mají v poslední době velký význam. V tomto článku je MEMs senzor založený na nanostrukturované elektrodě obsahující pole uhlíkových nanotrubek připravených pomocí metody PECVD mikrovlnných pochodňovým výbojem.

Související projekty

• Syntéza uhlíkových nanotrubek plazmochemickou metodou a studium jejich funkčních vlastností
• CEITEC - středoevropský technologický institut