Study of the nanoindentation induced defects in nanocomposite n-TiC/a-C:H films

• Název česky: Studium nanoindentačně indukovaných defektů v nanokompozitních n-TiC/a-C:H vrstvách
• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; BURŠÍK Jiří; ZÁBRANSKÝ Lukáš; VAŠINA Petr; SOUČEK Pavel; PEŘINA Vratislav
• Rok publikování: 2014
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Local Mechanical Properties X , Key Engineering Materials
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://www.scientific.net
• Doi: http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.606.159
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: nanocomposite; PVD; mechanical properties; indentation induced defects; TEM; FIB
• Popis: Příspěvek se zabývá studiem termální odolnosti nanokompozitních n-TiC/a-C:H vrstev. Rovněž se zabývá odolností těchto vrstev proti vzniku a šíření indentačně indukovaných poruch jak u nezahřívaných tak i u žíhaných vrstev (500-700oC). Lamely připravené pomocí metody FIB v místě indentace byly studovány pomocí TEM.

Související projekty

• Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev