Způsob snížení nebo odstranění organické a anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení a zařízení k jeho provádění

• Autoři: SŤAHEL Pavel; ČERNÁK Mirko; NAVRÁTIL Zdeněk; JIRUŠE Jaroslav; FIALA Jiří; HANIČINEC Martin
• Rok publikování: 2015
• Druh: Patent
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Vydavatel: Úřad průmyslového vlastnictví
• Stát vydání: Česká republika
• Číslo patentu: 305097
• Popis: Způsob snížení nebo odstranění organické a, nebo anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení, kde alespoň část plochy vnitřního povrchu vakuovaného prostoru vakuového systému se opatří fotokatalytickou vrstvou, přičemž alespoň část této fotokatalytické vrstvy se chladí na teplotu v intervalu od 0 do 280 K, přičemž řečená fotokatalytická vrstva je dále alespoň z části ozařována elektromagnetickým zářením, které aktivuje fotokatalytickou reakci této fotokatalytické vrstvy s adsorbovanými plyny atmosféry vakuovaného vnitřního prostoru vakuového systému, kde tato reakce rozkládá kontaminanty a snižuje jejich koncentraci a, nebo koncentraci vody ve vakuovaném vnitřním prostoru vakuového systému. Tento způsob a zařízení k jeho provádění umožňuje snížení nežádoucí organické a anorganické kontaminace vakuových systémů, a to nejen v procesu výroby, ale také umožňuje snížení kontaminace v již provozovaných systémech, jako jsou např. SEM, TEM, SEM FIB, XPS, MALDI, SIMS a další analytické a inspekční techniky.

Související projekty

• Tvorba nano-vrstev a nano-povlaků na textiliích s využitím plazmových povrchových úprav za atmosférického tlaku
• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Zvýšení adheze polypropylenových výstužných vláken k betonu pomoci nízkoteplotního plazmatu