Informace o projektu
Návrh a konstrukce UV optického měřicího zařízení k in situ monitorování plošné homogenity růstu tenkých vrstev deponovaných metodou IBAD
- Kód projektu
- GA102/02/0506
- Období řešení
- 1/2002 - 12/2004
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- doc. RNDr. Karel Navrátil, CSc.
- Spolupracující organizace
-
Vysoké učení technické v Brně
- Odpovědná osoba prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D.
Cílem podávaného projektu je návrh a konstrukce optického měřicího přístroje určeného k in situ monitorování plošné homogenity tloušťky a optických parametrů tenkých vrstev. Zvolená metoda a rozsah vlnových délek použitého světla představují ojedinělý přístup k řešení daného problému, který podle dostupných znalostí členů týmu navrhovatele doposud nebyl k podobným účelům použit. Jednou z velkých výhod užití UV světla je vyšší citlivost závislosti spektrální odrazivosti na změny tloušťky rostoucí (odprašované) tenké vrstvy, než je tomu v případě použití světla o vlnové délce z viditelné oblasti. Toto platí obzvláště pro velmi tenké vrstvy. Návrh a řešení navrhovaného projektu je založeno na znalostech a poznatcích členů týmu navrhovatele, které byly získány v průběhu úspěšného řešení předchozího projektu GAČR 101/98/0772, který se zabýval vývojem a konstrukcí podobného zařízení pracujícím ve viditelné oblasti spektra. Předpokládaným výstupem navrhovaného projektu by měla být registrace tohoto p