Využití hydridního PVD-PECVD procesu pro růst nc-TiC/a-C:H vrstev na zařízení s rotačními katodami

• Autoři: VAŠINA Petr; SOUČEK Pavel; ŽEMLIČKA Radek
• Rok publikování: 2013
• Druh: Výzkumná zpráva
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: *Výzkumná zpráva shrnuje výsledky rešerše, výzkumu a vývoje, testů a experimentů prováděných v roce 2013 na zakázku a ve spolupráci s firmou Pivot a.s.