Spoke induced cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS

• Autoři: KLEIN Peter; HNILICA Jaroslav; HUBIČKA Zdeněk; ČADA Martin; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2015
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: The oscillations were observed on cathode voltage and discharge current temporal evolution in HiPIMS pulse. The frequency of the oscillations depends at given pressure only on actual value of the discharge current. Rotation of the spokes over the cathode and the frequency of the oscillations shows different trends. The oscillations are observed at conditions where at least certain critical amount of spokes emerges.

Související projekty

• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
• Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
• Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy