Deposition of Hard Yet Moderately Ductile MoBC Coatings by p-DC Magnetron Sputtering

• Autoři: SOUČEK Pavel; BURŠÍKOVÁ Vilma; ZÁBRANSKÝ Lukáš; BURŠÍK Jiří; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2015
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Potential Application of Plasma and Nanomaterials 2015: Book of Contributed Papers
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: https://munispace.muni.cz/index.php/munispace/catalog/book/792
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: magnetron sputtering; ion flux; nanolaminates; Mo2BC
• Popis: Novel nanolaminated MoBC coatings were prepared using a combination of non-reactive direct current and pulsed direct current magnetron sputtering. Depending on the deposition conditions the coatings were either of amorphous or of nanocomposite nature. Nanocomposite coatings showed good hardness and Young’s modulus and showed no tendency to form cracks even for high-load nanoindentation testing.

Související projekty

• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Lokální mikrostrukturní změny vyvolané statickou a dynamickou indentací nanostrukturovaných a nanolaminovaných povlaků
• Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy