Informace o publikaci
STUDY OF NITROGEN DOPED ORGANOSILICON PLASMA POLYMER THIN FILMS
| Název česky | Studium dusíkem dopovaných organosilikonových tenkých vrstev |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2017 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | 8TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOMATERIALS - RESEARCH & APPLICATION (NANOCON 2016) |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Klíčová slova | thin films; hexamethyldisiloxane; PECVD; FTIR; XPS; AFM; nanoindentation |
| Popis | Přidání vhodného dopantu během plazmové polymerace je jedním ze způsobů, jak vytvářet specifické funkční skupiny modifikující chemii, fyzikální vlastnosti a biokompatibilitu filmů. V současných pracích se používal nízkotlaký RF kapacitně vázaný výboj pro přípravu tenkých vrstev s funkčními skupinami obsahujícími dusík na substráty monokrystalického křemíku. Výsledné plazmové polymery byly zkoumány několika metodami zaměřenými především na stanovení chemického složení, povrchové mikrostruktury a mechanických vlastností. Součástí této studie jsou výsledky FT infračervené spektroskopie, rentgenové fotoelektronové spektroskopie, konfokální mikroskopie, mikroskopie atomárních sil a nanoindentace. |
| Související projekty: |