Diagnostics of reactive magnetron sputtering

• Název česky: Diagnostika reaktivního magnetronového naprašování
• Autoři: VAŠINA Petr; DVOŘÁK Pavel; SCHMIDTOVÁ Tereza; BURŠÍKOVÁ Vilma; ŽEMLIČKA Radek
• Rok publikování: 2010
• Druh: Vyžádané přednášky
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Sledování reaktivního magnetronového naprošování a depozice/leptání tenkých diamantu podobných vrstev pomocí měření vyšších harmonických frekvencí.

Související projekty

• Časná diagnostika a léčba kardiovaskulárních chorob
• Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
• Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev