OVĚŘENÁ TECHNOLOGIE - Průmyslová příprava TiZrN vrstev

• Autoři: SOCHORA Vjačeslav; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2021
• Druh: Poloprovoz, technologie, odrůda, plemeno
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Technologie přípravy tvrdých Ti-Zr-N vrstev se zvýšenou lomovou houževnatostí je založena na reaktivním magnetronovém odprašování rotujícího válcového terče, který je tvořen segmenty titanu (Ti) a zirkonia (Zr).

Související projekty

• Vývoj průmyslové technologie pro depozice tvrdých XBC a TiXN povlaků se zvýšenou lomovou houževnatostí