Investigation of spokes in reactive HiPIMS using Ar/N2 atmosphere

• Autoři: KLEIN Peter; HNILICA Jaroslav; FEKETE Matej; ŠLAPANSKÁ Marta; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2021
• Druh: Další prezentace na konferencích

Související projekty

• Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev