Informace o publikaci
Influence of defects of thin films on determining their thickness by the method based on white light interference
| Název česky | Vliv defektů v tenkých vrstvách na určení jejich tloušťky metodou interference bílého světla |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 1993 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | J. Phys. D: Appl. Phys. |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | thin films |
| Popis | Metoda určení tloušťky tenké vrstvy pomocí interference bílého svqtla. Vliv defektů. |