Depozice a charakterizace organosilikonových tenkých vrstev ze směsi TEOS+O2

• Autoři: JANČA Jan; NAVRÁTIL Karel; BOCHNÍČEK Zdeněk; PEŘINA V.
• Rok publikování: 1995
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Czechoslovak Journal of Physics
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek