Analysis of thin films with slightly rough boundaries

• Autoři: OHLÍDAL Ivan; FRANTA Daniel; HORA Jaroslav; NAVRÁTIL Karel; WEBER Jan; JANDA Pavel
• Rok publikování: 1998
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Mikrochim. Acta
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/MA15_177.html
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: Spectroscopic Ellipsometry; Spectroscopic Reflectometry; Atomic Force Microscopy
• Popis: In this paper presented method is based on a combination of variable angle spectroscopic ellipsometry, spectroscopic reflectometry and atomic force microscopy enabling us to determine the optical parameters and most significant statistical parameters of the rough boundaries characterizing the slightly rough single layers.

Související projekty

• Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod