Comparison of AFM and optical methods at measuring nanometric surface roughness

• Autoři: OHLÍDAL Ivan; FRANTA Daniel; OHLÍDAL Miloslav; VIČAR Martin; KLAPETEK Petr
• Rok publikování: 1998
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of the 3th Seminar on Quantitative Microscopy
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/PTBF34_123.html
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Popis: In this contribution a comparison of the values of basic quantities characterizing random nanometric surface roughness determined by AFM and optical methods is presented.

Související projekty

• Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze
• Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev
• Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod