Characterization of Composite Carbon Nitride Films Prepared by the Inductively Coupled RF Plasma

• Autoři: ELIÁŠ Marek; ZAJÍČKOVÁ Lenka; BURŠÍKOVÁ Vilma; JANČA Jan; LORENC Michal
• Rok publikování: 1999
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of 14th International Symposium on Plasma Chemistry
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Popis: Characterization of Composite Carbon Nitride Films Prepared by the Inductively Coupled RF Plasma

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek