Informace o publikaci
Probe measurements in capacitively coupled rf discharge
| Název česky | Sondové měření v kapacitně vázaném výboji |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2001 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | WDS'01, Proceedings of contributed papers, Part II, Physics of Plasmas and Ionized Media |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | capacitevely coupled r.f. discharge; Langmuir probe |
| Popis | Voltampérová charakteristika Langmuirovy sondy měřena v kapacitně vázaném rf výbojích, ve dvou ruzných plynech, argonu a dusíku. Z VA charakteristik byly získány hlavní parametry-plazmový a plovoucí potenciál, koncentrace a teplota elektronů, jejich střední energie a závislosti těchto parametrů na výkonu a vzdálenosti mezi elektrodami a pozici sondy vzhledem ke středu reaktoru, při tlacích 0,43-4,3 Pa. |
| Související projekty: |