Measurement of the Species Spatial Distribution in an IPVD Reactor by Optical Spectroscopy

• Autoři: VAŠINA Petr; DE POUCQUES Ludovic; BOISSE-LAPORTE Caroline; LEROY Olivier; PAGNON Daniel; TEULÉ-GAY Lionel; TOUZEAU Michel
• Rok publikování: 2003
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceeding of ISPC
• Fakulta / Pracoviště MU: Rektorát
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech