Fast dynamics of ionized species in high power pulsed magnetron discharge

• Název česky: Rychlá dynamika ionizovaných částic v pulzním magnetronu velkého výkonu
• Autoři: VAŠINA Petr; MEŠKO Marcel; TOUZEAU Michel; BRETAGNE Jean; GANCIU Mihai
• Rok publikování: 2004
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Bulletin of the American Physical Society, Series II, Vol. 49, No. 5
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: preionization; pulsed magnetron discharge; copper
• Popis: Pulzni preionizovany magnetron velkeho vykonu 1kW/cm2 byl studovam pomoci casove rozlisene opticke emisni spektroskopie a pomoci casove rozliseneho mereni proudu a napeti na katode. Aplikovani 1kV stejnosmerneho napeti na kotodu je provazeno prutkym narustem magnetronoveho proudu, ktery dosahne na tlaku nezavisle hodnoty 40A pro 3cm medenou katodu. Spolelecne s vysledky OES bylo zjisteno, ze pro casy vetsi nez 5 mikrosekund je plasma dominantne slozeno z medenych iontu, ktere se ucasni samorozprasovani.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu