Energy Spectra of Ions in the Hydrogen Capacitively Coupled Low-Pressure Discharge

• Název česky: Energiová spektra iontů ve vodíkovém kapacitně vázaném nízkotlakém plazmatu
• Autoři: DVOŘÁK Pavel; JÁNSKÝ Jaroslav; ZAJÍČKOVÁ Lenka; JANČA Jan
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: SAPP XV - Book of contributed papers
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: IEDF hydrogen capacitive plasma low-pressure
• Popis: Závislost rozdělovacích funkcí (a jejich integrálů) energie iontů letících z vodíkového kapacitně vázaného nízkotlakého výboje na poloze mezi elektrodami.

Související projekty

• Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek