Fourier components of plasma potential in hydrogen capacitively coupled rf discharge

• Název česky: Fourierovy složky potenciálu plazmatu vodíkového kapacitně vázaného rf. výboje
• Autoři: DVOŘÁK Pavel; JANČA Jan
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: plasma potential harmonic hydrogen
• Popis: Měřili jsme amplitudy základní a vyšších harmonických frekvencí potenciálu plazmatu v nízkotlakém, vysokofrekvenčním (13,56 MHz), kapaciteně vázaném vodíkovém výboji. Publikujeme jejich závislosti na poloze ve výboji a na tlaku.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek