Informace o publikaci
Energy distribution of hydrogen ions in capacitively coupled low pressure discharge
| Název česky | Rozdělovací funkce energií iontů ve vodíkovém kapacitně vázaném nízkotlakém výboji |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Acta physica slovaca |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | IED hydrogen capacitively coupled low-pressure discharge plasma |
| Popis | Článek uvádí rozdělovací funkce energií iontů (IED) H3+, H2+ a H+ vyletujících z vf. (13,56 MHz) kapacitně vázaného asymetrického vodíkového výboje, zapalovaného mezi dvěma vodorovnými elektrodami. IED byly měřeny hmotnostním a energiovým analyzátorem (PPM 421) z boku horizontálně mířícím do prostoru mezi elektrodami. Vstup do PPM byl zeměný a byl umístěn v horizontální vzdálenosti 15 mm od krajů elektrod. Publikujeme tvary IED v různých svislých vzdálenostech od buzené elektrody. Detekovali jsme ionty H+ s energií o více než 10 eV vyšší, než je maximální energie sedlové struktury, a jejich přítomnost vysvětlili disociativní ionizací molekuly H2. Naměřili jsme nezanedbatelnou impedanci vlastního plazmatu viditelnou na změně šířky sedlové struktury IED při posunu měřícího bodu. Uvádíme také vliv tlaku a vf. výkonu. |
| Související projekty: |