Informace o publikaci
Spectroscopic Ellipsometry as a Tool for On-Line Monitoring and Control of Surface Treatment Processes
| Název česky | Spektroskopická elipsometrie jako nástroj pro on-line monitorování a řízení povrchových procesů |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2006 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Materials Science Forum |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | surface treatment; spectroscopic ellipsometry; on-line monitor; closed loop control; nitriding |
| Popis | Moderní materiálové technologie se stále více opírají o procesy modifikace povrchů a povrchových pokrytí. Obecně chybí možnost monotorování postupu takových procesů.Výsledek pak může být analyzován až po skončení procesního cyklu. Navrhujeme použití spektroskopické elipsometrie (SE) jako on-line nástroje monitorování. Jde o optickou metodu, která není ovlivněna vysokými teplotami, procesními plyny, plasmatem apod. Používáme prokládací proceduru k získání materiálových charakteristik z naměřených SE dat. Očekáváme zvýšenou stabilitu procesu a kratší vývojový čas jako praktický zisk z použití SE. |
| Související projekty: |