Experimental study of a pre-ionized high power pulsed magnetron discharge

• Název česky: Experimenetální studie preionizovaného pulzního magnetronu velkého výkonu
• Autoři: VAŠINA Petr; MEŠKO Marcel; IMBERT Jean-Christophe; GANCIU Mihai; BOISSE-LAPORTE Caroline; DE POUCQUES Ludovic; TOUZEAU Michel; PAGNON Daniel; BRETAGNE Jean
• Rok publikování: 2007
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Plasma Sources Science and Technology
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: magnetron; sputtering; high power pulses
• Popis: Experimenetální studie preionizovaného pulzního magnetronu velkého výkonu, článek

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek