Informace o publikaci

Measurement of ions in H2 - N2 capacitively coupled discharge

Název česky Měření iontů v kapacitně vázaném výboji buzeném ve směsi vodíku a dusíku
Autoři

DVOŘÁK Pavel JANČA Jan

Rok publikování 2007
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova ions; plasma ; capacitively coupled; hydrogen; nitrogen
Popis Byly měřeny relativní koncentrace kladných iontů a neutrálních molekul v nízkotlakém kapacitně vázaném plazmatu buzeném ve směsi vodíku a dusíku, zejména ve směsích s převahou vodíku. Dominantními ionty byly částice H3+ a N2H+, ve velkém množství byly přítomné i amonné ionty NH4+.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info