Informace o publikaci
Influence of shadowing on ellipsometric quantities of randomly rough surfaces and thin films
| Název česky | Vliv stínění na elipsometrické veličiny náhodně drsných povrchů a tenkých vrstev |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2008 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Journal of modern optics |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Optika, masery a lasery |
| Klíčová slova | ellipsometry; rough surfaces; rough films; shadowing; scalar diffraction theory |
| Popis | Jsou presentovány vzorce umozňující nám vypočíst hodnoty elipsometrických parametrů náhodně drsných povrchů a tenkých vrstev s náhodně drsnými rozhraními s ohledem na vliv stínění mezi nerovnostmi drsnosti. Tyto vzorce jsou odvozeny v rámci skalární difrakční teorie světla. První vzorec umožňje výpočet elipsometrických parametrů pomocí numerických metod, zatímco druhá formule je přibližná, ale vyjadřuje elipsometrické parametry v uzavřeném tvaru. Oba vzorce jsou numericky zkoumány na několika příkladech drsných povrchů a tenkých vrstev. Navíc jsou porovnány výsledky dosažené s použitím obou vzorců beroucích v úvahu stínění s výsledky dřívějších vzorců, které tento jev v úvahu neberou. Pomocí všech vzorců jsou vyhodnocena experimentální data dvou vzorků náhodně drsného povrchu křemíku pokrytého velmi tenkou povrchovou vrstvou. Touto experimentální studií je potvrzena správnost obou vzorců započítávajících stínění. |
| Související projekty: |