DEPOSITION OF THIN FILMS IN ATMOSPHERIC PRESSURE GLOW DISCHARGE IN N2 + HMDSO + O2 ATMOSPHERE

• Název česky: Depozice tenkých vrstev v doutnavém výboji za atmosférického tlaku ve směsi N2 + HMDS + O2
• Autoři: STUDNIČKA Filip; TRUNEC David; SŤAHEL Pavel; BURŠÍKOVÁ Vilma; KELAR Lukáš
• Rok publikování: 2008
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Chemické Listy, II Central European Symposium on Plasma Chemistry 2008
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: plasma deposition
• Popis: TENKÉ VRSTVY BYLY DEPONOVÁNY VE SMĚSI N2 + HMDSO + O2. TVRDOST TĚCHTO VRSTEV VZROSTLA OPROTI VRSTVÁM DEPONOVANÝM VE SMĚSI N2 + HMDSO.

Související projekty

• Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku