DEPENDENCE OF HIGHER HARMONIC FREQUENCIES MEASURED IN CAPACITIVELY COUPLED PLASMA ON THE MATCHING UNIT PARAMETERS

• Název česky: Závislost vyšších harmonických frekvencí měřených v kapacitně vázaném výboji na parametrech přizpůsobovacího členu
• Autoři: DVOŘÁK Pavel; MORAVEC Zdeněk
• Rok publikování: 2008
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Chemické listy
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: plasma; discharge; higher harmonics; capacitive; matching
• Popis: Byla měřena závislost amplitud vyšších harmonických frekvencí generovaných nízkotlakým asymetrickým kapacitně vázaným výbojem na parametrech přizpůsobovacího členu. Většina vyšších harmonických frekvencí měla největší amplitudu při optimálním přizpůsobení, nicméně hodnota výkonu dodávaného do plazmatu nevysvětlila chování harmonik dostatečně. Ukázalo se, že chování vyšších harmonických frekvencí je řízeno napětím na vrstvě prostorového náboje u elktrody.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek