Radial Structure of RF Discharge in Neon

• Název česky: Radiální struktura RF výboje v neonu
• Autoři: NAVRÁTIL Zdeněk; TRUNEC David; DVOŘÁK Pavel
• Rok publikování: 2008
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: 2nd Central European Symposium on Plasma Chemistry - Book of Extended Abstracts
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: plasma; capacitive; neone; discharge; optical emmision spectroscopy
• Popis: Radiální struktura nízkotlakého kapacitně vázaného vysokofrekvenčního (13,56 MHz) výboje v neonu byla měřena pomocí optické emisní spektroskopie.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku