NUCLEATION AND PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF ULTRANANOCRYSTALLINE DIAMOND FILMS ON DIFFERENT SUBSTRATES

• Název česky: Nukleace a růst ultrananokrystalických diamantových vrstev metodou PEVCD na různých substrátech
• Autoři: KARÁSKOVÁ Monika; ZAJÍČKOVÁ Lenka; BURŠÍKOVÁ Vilma; JAŠEK Ondřej; FRANTA Daniel; MATĚJKOVÁ Jiřina; KLAPETEK Petr
• Rok publikování: 2008
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: CESPC II Book Of Extended Abstracts
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: ultrananocrystalline diamond; PECVD; nucleation
• Popis: Ultrananokrystalické diamantové vrstvy byly připraveny v reaktoru ASTEX ze směsi metan vodík za pomoci nukleace metodou BEN. Mechanické vlastnosti byly zkoumány pomocí nanoidentace na přístroji FISHERSCOPE H100 XYp a morfologie vrstev byla zkoumána metodami AFM a SEM.

Související projekty

• Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi
• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie