Informace o publikaci

Characterization of non-uniform diamond-like carbon films by spectroscopic ellipsometry

Logo poskytovatele
Název česky Charakterizace neuniformních vrstev diamantu-podobného uhlíku pomocí spektroskopické elipsometrie
Autoři

OHLÍDAL Ivan NEČAS David FRANTA Daniel BURŠÍKOVÁ Vilma

Rok publikování 2009
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Diamond and Related Materials
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www https://doi.org/10.1016/j.diamond.2008.09.003
Doi http://dx.doi.org/10.1016/j.diamond.2008.09.003
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova diamond-like carbon films; thickness non-uniformity; material parameters; optical constants
Popis V praxi řada vrstev připravených různými technologiemi vykazuje slabší či silnější plošnou neuniformitu. Diamantu-podobné uhlíkové (DLC) vrstvy jsou také někdy vyrobeny s touto neuniformitou. V tomto příspěvku bude ukázáno, jak zahrnout tloušťkovou neuniformitu vrstev při optické charakterizaci pomocí spektroskopické elispometrie. Jsou ukázány dva nové vzorce vyjadřující komponenty Stokesova vektoru vrstev vykazující tloušťkovou neuniformitu pro fázově modulovanou elipsometrii.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info