Informace o publikaci

Study of the Mechanical Properties of Diamond-like Carbon Coatings on Polymer Substrates

Logo poskytovatele
Autoři

STOICA Adrian BURŠÍKOVÁ Vilma KELAR Lukáš NOVOTNÝ Tomáš

Rok publikování 2009
Druh Článek ve sborníku
Konference Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostic 8
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Mechanical Properties; Diamond-like Carbon; Coatings; Polymer Substrates
Popis We focused our work on optimizing the deposition parametres to improve the coatings adhesion to the polymer surface. Hzdrogenate amorphous carbon (a-C:H) and nitrogen incorporated hzdrogenated amorphous carbon (a-C:H:N) films were deposited on polycarbonate, glass reinforced PPS, and BMC substrates by r.f. plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) A mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and CH4/N2/H2 gases was utilized to reduce the internal compressive stress of the deposited films.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info