Interdiffusion in Ge rich SiGe/Ge multilayers studied by in situ diffraction

• Název česky: Interdufúze v SiGe/Ge multivrstvách bohatých na Ge studovaných pomocí in-situ difrakce
• Autoři: MEDUŇA Mojmír; CAHA Ondřej; KEPLINGER Mario; STANGL Julian; BAUER Günther; MUSSLER Gregor; GRÜTZMACHER Detlev
• Rok publikování: 2009
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Physica stat.sol.(a)
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: interdiffusion; x-ray diffraction; multilayers
• Popis: Studovali jsme SiGe/Si multivrstvy s obsahem Ge 70% a 90% žíhané in-situ při teplotách v rozsahu 600-700 C pomocí rtg difrakce.

Související projekty

• Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
• Nukleace a růst kyslíkových precipiátů v křemíku
• Řízení elastického napětí v magnetických polovodičích