Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing

• Název česky: Homogenizace CZ Si desek pomocí žíhání Tabula Rasa
• Autoři: MEDUŇA Mojmír; CAHA Ondřej; KUBĚNA Josef; KUBĚNA Alan; BURŠÍK Jiří
• Rok publikování: 2009
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Physica B condensed matter
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: Silicon; Infra red; Precipitates
• Popis: Rozdíly v precipitaci kyslíku, morfologie precipitátů a vývoj bodových defektů byly studovány pomocí experimentálních technik jako jsou infračervená absorpce, transmisní elektronová mikroskopie, leptací techniky a rtg difrakce.

Související projekty

• Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
• Nukleace a růst kyslíkových precipiátů v křemíku