Design and Fabrication of High-Temperature SOI Strain-Gauges

• Název česky: Návrh a výroba vysokoteplotních SOI napěťových senzorů
• Autoři: KULHA P.; BOURA A.; HUSÁK M.; MIKULÍK Petr; KUČERA Milan; VALENDA Stanislav
• Rok publikování: 2008
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: 7th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
• Klíčová slova: High-Temperature SOI Strain-Gauges; sensors
• Popis: Článek je věnován piezorezistivním senzorů. Jejich návrh byl provedený softwarem CoventorWare, který umožnil mehcanickou a elektrickou charakterizaci struktury. Podle návrhu byly vyrobeny jednoduché pasivní elementy na SIMOX SOI s naprášenou AlCuSi metalizací a provedena jejich charakterizace.

Související projekty

• Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur