Monitoring of magnetron target poisoning by measurement of higher harmonics of discharge voltages

• Název česky: Sledování stavu otrávení magnetronového terče pomocí vyšších harmonik výbojových napětí
• Autoři: DVOŘÁK Pavel; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2010
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Plasma Sources Sci. Technol.
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: plasma; higher harmonic frequencies; reactive magnetron sputtering
• Popis: Monitorování tvorby otrávené vrstvy na povrchu magnetronového terče pomocí vyšších harmonických frekvencí výbojových napětí a testování fyzikálních důvodů pro reakci vyšších harmonik na přechod mezi kovovým a otráveným režimem.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev