Hybrid PVD-PECVD process: focusing on modelling and steady-state conditions

• Autoři: SCHMIDTOVÁ Tereza; VAŠINA Petr; SOUČEK Pavel
• Rok publikování: 2010
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Hybrid PVD-PECVD process: focusing on modelling and steady-state conditions. No hysteresis effect was observed and modelled.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
• Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace