Influence of DLC films on higher harmonic frequencies in capacitive discharges

• Název česky: Vliv DLC vrstev na vyšší harmonické frekvence v kapacitních výbojích
• Autoři: DVOŘÁK Pavel; BURŠÍKOVÁ Vilma; ŽEMLIČKA Radek; HOMOLA Vojtěch
• Rok publikování: 2011
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Vliv vzniku nebo odleptání tekné DLC vrstvy v plazmatu na Fourierovy komponenty napětí a proudu.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích