Application of higher harmonic frequencies generated in RF plasmas for monitoring of deposition processes

• Název česky: Aplikace vyšších harmonických frekvencí vznikajících ve vf. plazmatu pro monitorování depozičních procesů
• Autoři: DVOŘÁK Pavel; ŽEMLIČKA Radek; VAŠINA Petr; BURŠÍKOVÁ Vilma
• Rok publikování: 2011
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Analýza vyšších harmonických frekvencí vznikajících ve vf. plazmatu s ohledem na jejich využití při monitorování plazmových procesů.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích