Project information

High Temperature X-Ray Triple Crystal Diffractometry and Reflectometry of Layered Systems.

Investor logo
Project Identification
GA202/94/1871
Project Period
1/1994 - 1/1996
Investor / Pogramme / Project type
Czech Science Foundation
MU Faculty or unit
Faculty of Science
Cooperating Organization
Institute of Scientific Instruments of the ASCR, v. v. i.

Rtg trojkrystalová difraktometrie a reflektometrie budou použity pro sledování struktury tenkých vrstev a vrstevnatých systémů. Měření bude prováděno za pokojové teploty a za vyšších teplot až do teploty depozice vrstev na polovodičových epitaxních vrstvách a kovových vrstvách připravených magnetronovým naprašováním. Cílem projektu je získat informace o struktuře rozhraní (drsnosti) vrstevnatých systémů a o objemových defektech ve vrstvách (deformační pole, mikrodefekty), jakož i o jejich změnách za vyšších teplot. Výsledky měření bodou korelovány se spekulární a nespekulární odrazivostí vrstev ve viditelné oblasti a s pozorováním TEM a STM.

You are running an old browser version. We recommend updating your browser to its latest version.

More info