doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

2010

• Comparative Study of RF Discharge in Neon by OES, Langmuir Probe, CR and PIC/MC Modelling

  NAVRÁTIL Zdeněk DVOŘÁK Pavel BRZOBOHATÝ Oto TRUNEC David

  Konferenční abstrakty

  Rok: 2010, druh: Konferenční abstrakty

• Determination of electron density and temperature in a capacitively coupled RF discharge in neon by OES complemented with a CR model

  NAVRÁTIL Zdeněk DVOŘÁK Pavel BRZOBOHATÝ Oto TRUNEC David

  Článek v odborném periodiku

  Journal of Physics D: Applied Physics, rok: 2010, ročník: 43, vydání: 50

• Diagnostics of reactive magnetron sputtering

  VAŠINA Petr DVOŘÁK Pavel SCHMIDTOVÁ Tereza

  Konferenční abstrakty

  Rok: 2010, druh: Konferenční abstrakty

• Diagnostics of reactive magnetron sputtering

  VAŠINA Petr DVOŘÁK Pavel SCHMIDTOVÁ Tereza BURŠÍKOVÁ Vilma ŽEMLIČKA Radek

  Vyžádané přednášky

  Rok: 2010, druh: Vyžádané přednášky

• Higher harmonic frequencies in capacitive discharges

  DVOŘÁK Pavel VAŠINA Petr BURŠÍKOVÁ Vilma ŽEMLIČKA Radek

  Článek ve sborníku

  Bulletin of the American Physical Society 55 (2010), CTP142, rok: 2010

• Higher harmonic frequencies in capacitive discharges

  DVOŘÁK Pavel VAŠINA Petr BURŠÍKOVÁ Vilma ŽEMLIČKA Radek

  Článek ve sborníku

  63rd GEC and 7th ICRP - Conference Proceedings, rok: 2010

• Measurement of plasma potential waveform by an uncompensated probe

  DVOŘÁK Pavel

  Článek v odborném periodiku

  Plasma Sources Sci. Technol., rok: 2010, ročník: 19, vydání: 2

• Monitoring of magnetron target poisoning by measurement of higher harmonics of discharge voltages

  DVOŘÁK Pavel VAŠINA Petr

  Článek v odborném periodiku

  Plasma Sources Sci. Technol., rok: 2010, ročník: 19, vydání: 5

• Monitoring of PVD, PECVD and etching plasmas using Fourier components of RF voltage

  DVOŘÁK Pavel VAŠINA Petr BURŠÍKOVÁ Vilma ŽEMLIČKA Radek

  Článek v odborném periodiku

  Plasma Physics and Controlled Fusion, rok: 2010, ročník: 52, vydání: 12, DOI

2009

• Harmonic analysis of discharge voltages as a tool to control the RF sputtering deposition process

  VAŠINA Petr DVOŘÁK Pavel

  Článek v odborném periodiku

  Europhysics Letters, rok: 2009, ročník: 85, vydání: 1