Informace o projektu

Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu

Kód projektu
TA02010784 (kod CEP: TA02010784)
Období řešení
1/2012 - 12/2015
Investor/Program
Technologická agentura ČR
Programový rámec / typ projektu
ALFA - Program na podporu aplikovaného výzkumu a experimentálního vývoje
Fakulta/Pracoviště MU
Přírodovědecká fakulta
Spolupracujici organizace
Český metrologický institut
Odpovědná osoba Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.
Meopta - optika, s.r.o.
Odpovědná osoba RNDr. Jiří Jankuj, CSc.
Vysoké učení technické v Brně
Odpovědná osoba Doc. RNDr. Miloslav Ohlídal CSc.

Vyvinutí nových metod návrhu systémů tenkých vrstev vyráběných v optickém průmyslu zahrnujících defekty vrstev a originálních metod charakterizace těchto systémů umožňujících zdokonalení kontroly kvality. Technologické změny depozice vrstevnatých systémů vyráběných v optickém průmyslu, jako jsou zrcadla s vysokou odrazivostí, antireflexní pokrytí, děliče světla a polarizátory, minimalizující jejich nedokonalosti především v ultrafialové oblasti spektra a umožňující nové progresivní aplikace.

Publikace

2015

Dělič světla pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm a dopadový úhel 45°±6°

BŘEZINA Jaromír — FRANTA Daniel

Polarizační kostka pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm

BŘEZINA Jaromír — FRANTA Daniel

Simultaneous determination of dispersion model parameters and local thickness of thin films by imaging spectrophotometry

NEČAS DavidVODÁK JiříOHLÍDAL Ivan — OHLÍDAL Miloslav — MAJUMDAR Abhijit — ZAJÍČKOVÁ Lenka

Universal dispersion model for characterization of optical thin films over wide spectral range: Application to hafnia

FRANTA DanielNEČAS DavidOHLÍDAL Ivan

2014

Antireflexní vrstva (Al2O3/MgF2) pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm

BŘEZINA Jaromír — FRANTA Daniel

Antireflexní vrstva (SiO2/Al2O3/MgF2) pro dalekou ultrafialovou (FUV, VUV) oblast spektra na vlnové délce 193nm

BŘEZINA Jaromír — FRANTA Daniel

Antireflexní vrstva z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm

BŘEZINA Jaromír — OHLÍDAL Ivan

Antireflexní vrstva z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm pro úhel dopadu 45°

BŘEZINA Jaromír — FRANTA Daniel

Antireflexní vrstva z materiálů HfO2/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm

BŘEZINA Jaromír — FRANTA Daniel

Assessment of non-uniform thin films using spectroscopic ellipsometry and imaging spectroscopic reflectometry

NEČAS DavidOHLÍDAL IvanFRANTA Daniel — ČUDEK Vladimír — OHLÍDAL Miloslav — VODÁK Jiří — SLÁDKOVÁ Lucia — ZAJÍČKOVÁ LenkaELIÁŠ Marek — VIZĎA František

Předchozí 1 2 Další

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info