Informace o publikaci
Modelling of electric characteristics of capacitively coupled discharges including nonlinear effects of sheaths
| Název česky | Modelování elektrických vlastností kapacitně vázaných výbojů včetně nelineárních vlastností stěnových vrstev |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2013 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Plasma Sources Sci. Technol. |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Doi | http://dx.doi.org/10.1088/0963-0252/22/4/045016 |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | plasma; capacitively coupled discharges; higher harmonic frequencies; sheaths; electric characteristics |
| Popis | Model elektrických vlastností kapacitně vázaného výboje a diskuze výsledků tohoto modelu s důrazem na nelineární vlastnosti kapacitně vázaného plazmatu projevujících se generováním vyšších harmonických frekvencí. |
| Související projekty: |