Strain Engineering in Highly Mismatched SiGe/Si Heterostructures

• Název česky: Deformační inženýrství ve velmi nepřizpůsobených SiGe/Si Heterostrukturách
• Autoři: ISA Fabio; JUNG Arik; SALVALAGLIO Marco; DASILVA Yadira Arroyo Rojas; MAROZAU Ivan; MEDUŇA Mojmír; BARGET Michael; MARZEGALLI Anna; ISELLA Giovanni; ERNI Rolf; PEZZOLI Fabio; BONERA Emiliano; NIEDERMANN Philippe; SEREDA Olha; GRONING Pierangelo; MONTALENTI Francesco; VON KAENEL Hans
• Rok publikování: 2017
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Materials Science in Semiconductor Processing
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1369800116303201?via%3Dihub
• Doi: http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2016.08.019
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: Strain engineering; Dislocations; Elastic relaxation; Patterned substrates; SiGe
• Popis: V této práci předkládáme inovativní přístup k realizaci koherentních, vysoce nepřizpůsobených 3-rozměrných heterostruktur na substrátech vzorkovaných v měřítku mikrometru.