Functional nano-structuring of thin silicon nitride membranes

• Autoři: MATĚJKA Milan; KRÁTKÝ Stanislav; ŘIHÁČEK Tomáš; KNÁPEK Alexandr; KOLAŘÍK Vladimír
• Rok publikování: 2020
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Journal of Electrical Engineering
• Doi: http://dx.doi.org/10.2478/jee-2020–0019