Informace o publikaci

Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů

Autoři

ČADA Martin HUBIČKA Zdeněk HNILICA Jaroslav KLEIN Peter VAŠINA Petr

Rok publikování 2020
Druh Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Popis V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů. Změřené parametry plazmatu prokázali, že zařízení je schopné zdvojnásobit depoziční rychlosti při zachování ionizačního stupně rozprášených částic.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info