Effects of DC bias on the PECVD deposition of thin films from octamethylcyclotetrasiloxane (OMTS) and oxygen mixtures

• Autoři: ZAJÍČKOVÁ Lenka; KRZYŽÁNKOVÁ Michaela; JANČA Jan
• Rok publikování: 1995
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of 17th Symposium on Plasma Physics and Technology
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Popis: Effects of DC bias on the PECVD deposition of thin films from octamethylcyclotetrasiloxane (OMTS) and oxygen mixtures

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek