Structural characterization of lamellar multilayer gratings by X-ray reflectivity and scanning electron microscopy

• Název česky: Strukturní charakterizace planárních W/Si vrstevnatých mřížek rtg reflektivitou a skenovací elektronovou mikroskopií
• Autoři: JERGEL M.; MIKULÍK Petr; MAJKOVÁ E.; LUBY Š.; SENDERÁK R.; PINČÍK E.; BRUNEL M.; KOSTIČ I.; KONEČNÍKOVÁ A.
• Rok publikování: 1999
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: J. Phys. D: Appl. Phys.
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://www.sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#JergelMikulikXTOP98
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: gratings; multilayers; x-ray reflectivity
• Popis: Strukturní charakterizace leptaných amorfních W/Si vrstevnatých mřížek s laterální periodicitou 800 nm rtg reflektivitou. Drsnost rozhraní byla vzata do úvahy přístupem utlumení koherentní amplitudy u zobecněných Fresnelových koeficientů.

Související projekty

• Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur