Novel Sputter Cathode Design to Obtain Very High Ionized Flux Fraction of Deposited Material in Industrial Conditions

• Autoři: UČÍK Martin; HNILICA Jaroslav; KLEIN Peter; VAŠINA Petr; KLUSOŇ Jan; JÍLEK Mojmír; ONDRYÁŠ Martin; LÜMKEMANN A
• Rok publikování: 2023
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta