Informace o publikaci
Apparatus for mapping 8-inch wafers using optical fiber spectrometer
| Název česky | Sestava pro mapování osmi-palcových desek s využitím optického vláknového spektrometru |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2026 |
| Druh | Prototyp, funkční vzorek |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Přiložené soubory | |
| Popis | Zařízení slouží k spektroskopickému mapování optických vlastností v prošlém světle. Sestava dovoluje mapování desek do průměru 8 palců (200 mm). Hlavním použitím je mapování homogenity desek polovodičů se širokým zakázaným pásem. Optické vlastnosti jsou ovlivněny koncentrací příměsí. Optická spektroskopie je bezkontaktní a nedestruktivní metoda. Zároveň se jedná o rychlé měření a zařízení je poměrně jednoduché, přičemž poskytuje velké množství informace o studovaných vzorcích. |
| Související projekty: |